概況:具有短波、中波及長波激發(fā)發(fā)光,可用于分析缺陷產(chǎn)生的深度。本功能適用于擴(kuò)散后的樣品。短波波長:360nm—400nm;中波波長:520nm—560nm;長波波長:650nm—850nm;軟件功能:1、圖像增強(qiáng)功能獲得PL圖像之后,軟件可通過圖像增強(qiáng)算子,使缺陷區(qū)域?qū)Ρ榷忍岣撸屢恍┤菀妆缓雎缘娜毕蒿@示更明顯。
2、缺陷區(qū)域自動選中
軟件通過邊緣算子,可將需要缺陷區(qū)域輪廓自動選中。